Goetzeler war seit März 2013 im Amt. Bis ein Nachfolger gefunden ist, wird Aufsichtsratschef Kim Schindelhauer Aixtron führen.
Aixtron stellt Maschinen für die Chipindustrie her und steckt wegen einer schwachen Auftragslage in der Krise.
Ein Weg daraus sollte die von Goetzeler vorangetriebene Übernahme durch chinesische Investoren sein. Diese scheiterte allerdings kurz vor Weihnachten am Veto des damaligen Präsidenten Barack Obama.
dpa/rkr